易度智能高可靠性質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，可從根本上抑制MFC的零漂、溫漂、壓漂現(xiàn)象，流體在寬流量范圍內(nèi)仍舊保持層流運動，內(nèi)置壓力傳感器和溫度傳感器，能充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，抗過載能力強，流量測控可靠穩(wěn)定，幾乎不會受到影響。

　　特征：

　　l 原理：層流壓差式原理

　　l 便捷操作：可觸屏點擊輸入設(shè)定流量，或者提供上位機軟件設(shè)定流量。

　　l 核心優(yōu)勢：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)

　　l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

　　l 實時顯示4種過程變量

　　l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，

　　l 可測控混合氣體，內(nèi)置混合氣體設(shè)定功能，可自主編輯

　　l 無需預(yù)熱時間，開機即可使用，即插即用。

　　l 可切換為流量計模式使用

　　產(chǎn)品規(guī)格：

　　l 產(chǎn)品型號：

　　SC系列-帶觸摸屏系列控制器，可觸屏操作讀取數(shù)據(jù)，方便工況現(xiàn)場使用，無需電腦，像手機一樣方便。

　　MC系列：無屏幕系列控制器，可通過上位機軟件設(shè)定流量、讀取數(shù)據(jù)，適用配套用戶，軟件可同時測控16臺流量計或控制器。

　　l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

　　l 閥門種類：N/C（常閉型）

　　性能參數(shù)：

　　l 精度：±1.0%S.P.

　　l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.

　　l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

　　l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

　　l 工作范圍：1%~100%F.S.

　　l 響應(yīng)時間：≤700ms.,800ms

　　l 啟動預(yù)熱時間：1s

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