低溫等離子體技術是通過氣體放電所產生的高活性粒子與污染物分子發生碰撞，使其解離和氧化，從而達到廢氣凈化的目的。低溫等離子體技術被較為廣泛的應用于低濃度含VOCs廢氣和惡臭異味氣體的處理。工程實踐表明，該技術對于低濃度的含VOCs廢氣(一般宜低于300mg/m3)和惡臭異味氣體具有較好的凈化效果。

由于不同種類的化合物被解離和氧化所需要的能量不同，低溫等離子體技術對于不同種類的有機物和惡臭污染物的凈化效果存在差異，在具體的工藝設計時應根據各種工況下廢氣的成分和濃度，確定低溫等離子體凈化技術的適應性。

廢氣經風機負壓作用由風管進入低溫等離子發生裝置。在低溫等離子凈化裝置中，通過高頻放電瞬間產生高能，將廢氣分子分解為單子分子或無害分子；同時將空氣中分氧分子電離成活性氧（臭氧O3、原子氧O、羥基自由基OH等）具有極強氧化能力的低溫等離子，這些低溫等離子通中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，使廢氣分子處于激發態。當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成的無害氣體分子。處理后的廢氣經過風機排放，排放達到《大氣污染物綜合排放標準》。